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微纳电子技术
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中文
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更新时间：
2026-02-12 18:00:05
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《微纳电子技术》由中国电子科技集团公司第十三研究所主办的微电子与纳米技术专业期刊。该刊专注于半导体器件物理、纳米加工技术、MEMS/NEMS、新型半导体材料与器件及微纳系统集成研究。