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Technical Digest - Solid-State Sensors, Actuators, And Microsystems Workshop
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英文
所在数据库：
Transducer Research Foundation
更新时间：
2026-04-08 13:32:18
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Technical Digest - Solid-State Sensors, Actuators, And Microsystems Workshop 《固态传感器、执行器与微系统研讨会论文集》发表MEMS、传感器及微系统技术。内容涵盖微纳制造、生物MEMS、无线传感及智能系统，服务于微系统领域。