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Proceedings Of The Ieee International Conference On Micro Electro Mechanical Systems (Mems)
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英文
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Institute Of Electrical And Electronics Engineers Inc.
更新时间：
2026-04-06 20:48:12
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Proceedings Of The Ieee International Conference On Micro Electro Mechanical Systems (Mems) 《IEEE微机电系统国际会议论文集》（MEMS）是微纳系统领域的顶级会议。该会议录发表微传感器、微执行器、微流控及微纳制造技术的研究，内容涵盖惯性传感器、生物MEMS、光学MEMS及能量采集，代表了微机电系统技术的最高水平。