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Nanotechnology And Precision Engineering
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英文
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American Institute Of Physics
更新时间：
2026-03-31 15:45:41
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Nanotechnology And Precision Engineering 《纳米技术与精密工程》发表纳米制造、精密测量及微纳系统技术的原创研究。内容涵盖纳米加工、原子层沉积、纳米压印及纳米计量，探讨纳米尺度制造技术在半导体、光学及生物芯片领域的工程应用与精度保障。