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Nanomanufacturing And Metrology

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语言: 英文
所在数据库: Springer Nature
更新时间: 2026-03-31 15:45:41

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Nanomanufacturing And Metrology 《纳米制造与计量》发表纳米尺度制造技术、精密测量及质量控制的原创研究。内容涵盖纳米加工、纳米压印、原子层沉积、纳米表征及标准制定,探讨纳米制造在半导体、光学及生物芯片领域的工程应用与精度保障。
专业
工业 制造工程 机械工程 材料科学
分区
EI