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Nanomanufacturing And Metrology
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英文
所在数据库:
Springer Nature
更新时间:
2026-03-31 15:45:41
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Nanomanufacturing And Metrology 《纳米制造与计量》发表纳米尺度制造技术、精密测量及质量控制的原创研究。内容涵盖纳米加工、纳米压印、原子层沉积、纳米表征及标准制定,探讨纳米制造在半导体、光学及生物芯片领域的工程应用与精度保障。