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Microelectronic Engineering
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英文
所在数据库：
Elsevier
更新时间：
2026-03-31 15:45:40
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Microelectronic Engineering 《微电子工程》发表微电子器件设计、制造工艺及封装技术的原创研究。内容涵盖半导体材料、集成电路、MEMS及纳米电子学，探讨先进制程技术（如光刻、刻蚀、薄膜沉积）在提升器件性能与可靠性中的应用，是微电子制造领域的重要期刊。