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Materials Science In Semiconductor Processing
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英文
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Elsevier Sci Ltd
更新时间：
2026-03-30 15:53:15
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Materials Science In Semiconductor Processing 聚焦半导体材料科学及其在微电子、光电子器件制造中的应用，涵盖薄膜生长、掺杂工艺、缺陷工程及器件物理。