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Journal Of Vacuum Science & Technology B
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英文
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A V S Amer Inst Physics
更新时间：
2026-03-30 11:55:37
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena (JVST B) 是 AVS 的另一旗舰期刊。专注于微电子与纳米结构的加工、测量及物理现象。涵盖光刻技术、刻蚀工艺、纳米制造、器件表征及下一代半导体制造技术。https://pubs.aip.org/avs/jvb