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Journal Of Vacuum Science & Technology A
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英文
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A V S Amer Inst Physics
更新时间：
2026-03-30 11:55:37
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Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films (JVST A) 是美国真空学会 (AVS) 的旗舰期刊之一。专注于真空技术、表面科学、薄膜沉积工艺（如 PVD, CVD）、表面分析及薄膜在半导体、光学和涂层中的应用研究。https://pubs.aip.org/avs/jva