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Digest Of Technical Papers - Symposium On Vlsi Technology
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英文
所在数据库：
Institute Of Electrical And Electronics Engineers Inc.
更新时间：
2026-03-30 15:42:29
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Digest Of Technical Papers - Symposium On Vlsi Technology (VLSI 技术研讨会论文集)，与 VLSI 电路研讨会并列，报道半导体制造工艺、器件结构（如 FinFET, GAA）、光刻技术及集成技术的最新进展。